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发明名称 EQUIPMENT FOR CLEANING ELECTRO-STATIC CHUCK OF IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR100702846(B1) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 KR20060043733 申请日期 2006.05.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MUN, KYUNG TAE
分类号 H01L21/265;H01L21/02 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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