各向异性导电板

摘要

本发明公开一种各向异性导电板，该各向异性导电板不会因在对晶片进行检验时负载而损坏导电测量工具的晶片，也不会损坏导电测量工具的电极端子，并且可以保证良好的传导率。各向异性导电板(1)包括多孔树脂层，该多孔树脂层通过起泡沫和使氟橡胶或四氟乙烯－丙烯共聚物橡胶电子束交联而形成，该多孔树脂层具有开室结构并且设置在多个通孔(3)的内壁上，所述通孔穿透在由泡沫氟橡胶等制成的电绝缘多孔板(2)的厚度方向上，其特征在于，所述多孔树脂的骨架表面涂覆有金属。另外，其特别地为多孔树脂而优选。

主权项

1、一种各向异性导电板，其包括：电绝缘多孔板；多个通孔，所述的多个通孔穿透在所述电绝缘多孔板的厚度方向上，各所述多个通孔包括内壁；多个多孔树脂层，各所述多孔树脂层包括开室结构，所述多孔树脂层分别形成在所述多个通孔的所述内壁上，所述多孔树脂层包括骨架部分；以及金属，该金属覆盖所述多孔树脂层的所述骨架部分。