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发明名称
Use of an active wafer temperature control independent from wafer emissivity
摘要
申请公布号
GB2430551(A)
申请公布日期
2007.03.28
申请号
GB20060020832
申请日期
2005.06.27
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
JACK HWANG;ROBERT JAMES;ERIC J LAMBERT;JONATHAN LEONARD;RICHARD BRINDOS;KARSON L KNUTSON;MARK ARMSTRONG;JUSTIN SANDFORD
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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