发明名称 Use of an active wafer temperature control independent from wafer emissivity
摘要
申请公布号 GB2430551(A) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 GB20060020832 申请日期 2005.06.27
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 JACK HWANG;ROBERT JAMES;ERIC J LAMBERT;JONATHAN LEONARD;RICHARD BRINDOS;KARSON L KNUTSON;MARK ARMSTRONG;JUSTIN SANDFORD
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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