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发明名称 THIN FILM MATERIAL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070034628(A) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 KR20077003565 申请日期 2007.02.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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