发明名称 |
晶圆传送容器的净化 |
摘要 |
本发明的实施例公开了用于净化如标准化机械接口(SMIF)盒的传送容器的方法和系统。尤其是,净化后的净化气体可以净化前开式统集盒(FOUP)和其他非气密封闭的传送容器,因此该容器可以和密封室(如半导体处理工具)连接而不会由于有机物和其他有害污染物有害的污染密封室的环境。该方法和系统可用于在电子材料制造和处理中传送物体,如晶圆、半导体元件和其他要求暴露于极度干净的环境中的材料。 |
申请公布号 |
CN1938818A |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
申请号 |
CN200580009743.4 |
申请日期 |
2005.02.03 |
申请人 |
安格斯公司 |
发明人 |
杰弗里·J·施皮格尔曼;小丹尼尔·阿尔瓦雷斯;拉塞尔·J·霍姆斯 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);B01D46/00(2006.01);B01D50/00(2006.01);F24F3/16(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
韩宏 |
主权项 |
1、一种净化传送容器的方法,包括使用污染物浓度不大于约兆分之一百(100ppt)的气体净化传送容器,该传送容器未气密封闭。 |
地址 |
美国明尼苏达 |