发明名称
摘要 <p>An optical component moving device having a driving portion and guiding portion, for moving an optical component, wherein the driving portion includes fluid enclosure system being expandable and contractible and the guiding portion includes a leaf spring.</p>
申请公布号 JP3894509(B2) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 JP19960204168 申请日期 1996.07.16
申请人 发明人
分类号 G02B7/04;H01L21/027;G02B3/14;G02B7/02;G02B26/08;G02B27/00;G03F7/20;H01L21/68 主分类号 G02B7/04
代理机构 代理人
主权项
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