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发明名称 A arc chamber of ion implant apparatus
摘要
申请公布号 KR100699112(B1) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 KR20050032663 申请日期 2005.04.20
申请人 发明人
分类号 H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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