| 发明名称 |
Fokussiersystem für geladene Teilchen, Elektronenmikroskopiesystem und Elektronenmikroskopieverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10317894(B9) |
申请公布日期 |
2007.03.22 |
| 申请号 |
DE20031017894 |
申请日期 |
2003.04.17 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
STEIGERWALD, MICHAEL;ESSERS, ERIK |
| 分类号 |
H01J37/153;G01Q30/02;H01J37/05;H01J37/12;H01J37/28;H01J37/285;H01J49/44 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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