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发明名称 Photosensitive composition, compound for use in the photosensitive composition, and pattern-forming method using the photosensitive composition
摘要
申请公布号 EP1635218(A3) 申请公布日期 2007.03.21
申请号 EP20050019883 申请日期 2005.09.13
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 WADA, KENJI
分类号 G03F7/004;C07C311/48;G03F7/038;G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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