薄膜晶体管及其制造方法

摘要

一种薄膜晶体管，包括栅极、栅绝缘层、通道层、源极、漏极以及欧姆接触层。其中的栅绝缘层会覆盖栅极；通道层是位于栅极上方的栅绝缘层上；源极与漏极是设置于通道层上；欧姆接触层是设置在通道层与源极及漏极之间，而此欧姆接触层是由多层膜层所构成。依据上述，本发明所披露的薄膜晶体管的欧姆接触层是由多层膜层所构成，因此当此薄膜晶体管处于关闭状态时的漏电流会比较小。

主权项

1.一种薄膜晶体管，其特征是包括：栅极；栅绝缘层，覆盖该栅极；通道层，位于该栅极上方的该栅绝缘层上；源极与漏极，设置于该通道层上；以及欧姆接触层，设置在该通道层与该源极及该漏极之间，其中该欧姆接触层是由多层膜层所构成。