发明名称 DEPOSITION APPARATUS FOR PROVIDING UNIFORM LOW-K DIELECTRIC
摘要
申请公布号 KR20070032348(A) 申请公布日期 2007.03.21
申请号 KR20077002268 申请日期 2007.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/455 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址