控制激光偏振

摘要

激光偏振控制装置包括一个偏振修正装置(24)如液晶可变延迟器，和一个控制器(18)。偏振修正装置接收激光束(12)并修正激光束的偏振状态。控制器调节对偏振修正装置的输入，从而根据由激光束加工的构件的排列来控制激光束偏振态的修正。偏振修正装置构造成组合到激光加工系统中，该激光加工系统产生偏振修正装置接收的激光束并把偏振修正装置修正的激光束聚焦到一个工件上，该工件包含一种由激光束加工的构件。

主权项

1.一种用于切割工件中的线路的激光偏振控制装置，包括：接收激光束并修正激光束的偏振状态的偏振器；和控制器，连接到所述偏振器，构造成调节对所述偏振器的输入，从而根据要由激光束加工的结构的对准情况来控制对激光束的偏振的修正；所述偏振器被构造成合并到激光加工系统中，该激光加工系统产生被所述偏振器接收的激光束，并把所述偏振器修正的激光束聚焦到包含要由激光束加工的结构的所述工件上；其中，所述控制器被配置为在所述装置的操作期间调节对所述偏振器的输入，使得所述激光束的椭圆偏振或者线偏振作为要由激光束加工的结构的对准情况的函数而被调节，以针对将被切割的线路的第一材料提供一个能量窗，该能量窗大于在椭圆或线性偏振激光束的其他取向下将会获得的其他能量窗，使得所述线路可被切割，而不会损伤周围的衬底或者周围的部件。