| 发明名称 | 过滤装置及其使用方法 | ||
| 摘要 | 超声驱动器(105)用于使过滤盘(103)在超声频率下振动。振动用于将聚结破碎成能通过过滤盘(103)的较小片。控制能量，使颗粒破碎时给予颗粒的平移能量最小防止再聚结。振动频率和幅度控制为在没有能量气蚀或低能量气蚀的情况下工作。 | ||
| 申请公布号 | CN1305547C | 申请公布日期 | 2007.03.21 |
| 申请号 | CN00129033.9 | 申请日期 | 2000.09.27 |
| 申请人 | 自由度半导体公司 | 发明人 | 詹姆斯·F·瓦尼尔 |
| 分类号 | B01D29/72(2006.01);B01D35/20(2006.01);B24B57/00(2006.01) | 主分类号 | B01D29/72(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种使用化学机械平面化设备制造集成电路的方法，其特征在于，包括以下步骤：将半导体晶片提供给所述化学机械平面化设备；振动与一种胶态悬浊液中的聚结接触的一个过滤元件，并改变所述振动的频率；破碎所述胶态悬浊液中接触所述过滤元件的所述聚结；和使破碎后的聚结通过所述过滤元件到达所述半导体晶片。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯 | ||