发明名称 检视晶舟盒中晶片的批号和刻号的机构及其检视方法
摘要 一种检视机构,包括:一平台和一检视器。检视器位于平台上,且检视器具有一倾斜面可与晶片的周边相抵,而将晶舟盒中的晶片微微地顶出,因而依序地露出晶片上的标记。本发明的检视机构及其检视方法,可一次检视晶舟盒中所有晶片的批号和刻号,不但省时,且无破片之虞。
申请公布号 CN1306580C 申请公布日期 2007.03.21
申请号 CN03154862.8 申请日期 2003.08.20
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 詹益芝;徐裕国;杨盛昌
分类号 H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 任永武
主权项 1.一种检视机构,用以检视多片晶片中各晶片上的一标记,该些晶片是存放于一晶舟盒中,该机构包括:一平台,用以置放该晶舟盒;和一检视器,具有一倾斜面,并位于该平台上的一端,且该倾斜面可与该晶舟盒进行相对运动,以将该晶舟盒中的该些晶片微微地顶出,因而依序地露出该些晶片上的该些标记。
地址 台湾省新竹科学工业园区力行路16号