发明名称 |
检视晶舟盒中晶片的批号和刻号的机构及其检视方法 |
摘要 |
一种检视机构,包括:一平台和一检视器。检视器位于平台上,且检视器具有一倾斜面可与晶片的周边相抵,而将晶舟盒中的晶片微微地顶出,因而依序地露出晶片上的标记。本发明的检视机构及其检视方法,可一次检视晶舟盒中所有晶片的批号和刻号,不但省时,且无破片之虞。 |
申请公布号 |
CN1306580C |
申请公布日期 |
2007.03.21 |
申请号 |
CN03154862.8 |
申请日期 |
2003.08.20 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
詹益芝;徐裕国;杨盛昌 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
任永武 |
主权项 |
1.一种检视机构,用以检视多片晶片中各晶片上的一标记,该些晶片是存放于一晶舟盒中,该机构包括:一平台,用以置放该晶舟盒;和一检视器,具有一倾斜面,并位于该平台上的一端,且该倾斜面可与该晶舟盒进行相对运动,以将该晶舟盒中的该些晶片微微地顶出,因而依序地露出该些晶片上的该些标记。 |
地址 |
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 |