| 发明名称 |
Improvements relating to ion implantation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2409928(B) |
申请公布日期 |
2007.03.21 |
| 申请号 |
GB20040000485 |
申请日期 |
2004.01.09 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
MAJEED ALI FOAD;BERNARD FRANCIS HARRISON;MARVIN FARLEY;PETER KINDERSLEY;STEPHEN WELLS;TAKAO SAKASE;GEOFFREY RYDING |
| 分类号 |
H01J37/304;H01L21/265;G21K5/10;H01J37/302;H01J37/317;H01L21/425;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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