| 发明名称 |
ULTRAVIOLET (UV) AND PLASMA ASSISTED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (MOCVD) SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1638700(A4) |
申请公布日期 |
2007.03.21 |
| 申请号 |
EP20040753466 |
申请日期 |
2004.05.25 |
| 申请人 |
SUPERPOWER, INC. |
发明人 |
SELVAMANICKAM, VENKAT;LEE, HEE-GYOUN |
| 分类号 |
C23C16/448;C23C16/48;C23C16/511;C23C16/54;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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