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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE AND METHOD, AND FLAT PANEL DISPLAY DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR20070031875(A) 申请公布日期 2007.03.20
申请号 KR20067020048 申请日期 2006.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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