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发明名称
BARRIER FILM FOR FLEXIBLE COPPER SUBSTRATE AND SPUTTERING TARGET FOR FORMING BARRIER FILM
摘要
申请公布号
KR20070032057(A)
申请公布日期
2007.03.20
申请号
KR20077002997
申请日期
2007.02.07
申请人
发明人
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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