制造探针卡之方法及装置

摘要

在一种制造探针卡之方法中，可制备复数个探针模组，该等探针模组包含一牺牲基板、及该牺牲基板上之复数个探针。该等探针模组系相互对正，以形成出具有该等已对正探针模组及一需求尺寸的一探针模组总成。该探针模组总成接着将连附至一探针基板。是以，可制造出具有一大尺寸的探针卡。