倾斜电浆掺杂

摘要

电浆掺杂装置包括反应室以及电浆源，电浆源在反应室中自掺质气体产生离子。格栅定位于反应室中。用于支撑目标之压板定位于反应室中。格栅以及目标中至少一者经定向以使得自格栅提取的掺质离子以非垂直入射角冲击目标。