发明名称 垫片型流孔组件及使用该垫片型流孔组件的压力式流量控制装置
摘要 本发明的目的在于:在不必分解、组装压力式流量控制装置的状况下,藉由简单地更换其流孔组件,而可轻易地执行控制流量的切换。为达成上述目的,本发明是在具备流体供给用配管之连接部的入口侧安装用块体(39)、与具备流体取出用配管之连接部的出口侧安装用块体(43)之间,配设压力式流量控制装置(A)之控制阀(2)的阀体(23),藉由可各自分解地将该阀体(23)的流体入口侧、与上述入口侧安装用块体(39)的流体出口侧;及上述阀体(23)的流体出口侧、与上述出口侧安装用块体(43)的流体入口侧连结成气密状,而形成可供通过上述控制阀(2)之气体流通的流路,并可自由装卸地将压力式流量控制装置(A)的垫片型流孔组件(38)插入固定于设在上述阀体(23)之出口侧的垫片型流孔组件插入孔(42c)、与设在出口侧安装用块体(43)之流体入口侧的垫片型流孔组件插入孔(43b)之间的构造。
申请公布号 TW200710623 申请公布日期 2007.03.16
申请号 TW095118127 申请日期 2006.05.22
申请人 富士金股份有限公司;国立大学法人东北大学 发明人 大见忠弘;西野功二;土肥亮介;池田信一;永濑正明;平田薰;杉田胜幸;筱原努;广濑隆;今井智一;吉田俊英;田中久士
分类号 G05D7/06(2006.01);F16K17/22(2006.01) 主分类号 G05D7/06(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本