高移除速率之下游腔室

摘要

一气腔包含形成一腔室之上腔体和下腔体、供一晶圆用之一加热夹件、一远端气源、及一排气单元。气体透过一注入件内之通道被注入进该腔室内。各通道具有以一足够角度相互弯曲以实质消除进入该通道之进入光线不反射就射出该通道之部分。该等通道在紧邻该夹件之端点具有漏斗状喷嘴。该注入件也具有介于该注入件与该腔室和气源之配合表面之间之热膨胀缓冲狭槽和小间隙。该注入件温度由冷却通道里之一冷却液体和该注入件接收座里之电气加热器控制。该上腔体为漏斗状且在该上腔体紧邻该夹件之一端向下弯曲。