| 摘要 |
本发明系有关含有一种以上(a)使碳数5~45之芳香族酮或芳香族醛、及碳数6~15之含1~3个苯酚性羟基之化合物藉由缩合反应所制造的聚苯酚化合物，藉由照射选自可视光线、紫外线、准分子雷射、极端紫外线(EUV)、电子线、X线、及离子束之任一放射线，直接或间接引起交联反应导入交联反应性基之试剂反应所制造、(b)分子量为300~5000、且(c)使在分子中至少具有1个该交联反应性基之光阻化合物(A)的光阻组成物及其中可使用的化合物，由于该光阻组成物为高感度，故可制作高解像度之光阻图案，可以高生产性制作积体度高的半导体元件。 |
