用于感应耦合电浆反应器且具有分离之射频线圈的两件式圆顶结构

摘要

一基材处理系统具有：一壳体，其界定一制程腔室；一气体输送系统；一高密度电浆产生系统；一基材固持件；以及一控制器。该壳体包括一侧壁与一设置在该侧壁上方的圆顶。该圆顶具有复数个实体上分离且非毗邻之部件。该气体输送系统经由数个侧喷嘴导入一气体至该制程腔室，其中该些侧喷嘴位于该两实体分离且非毗邻部件之间。该高密度电浆产生系统操作地耦合于该制程腔室。该基材固持件位于该制程腔室内且在基材处理期间支撑一基材。该控制器系控制该气体输送系统与该高密度电浆产生系统。