静电致动器、液滴喷出头、液滴喷出头之驱动方法、及静电致动器之制造方法

摘要

本发明系提供一种能够以低电压驱动而获得大幅之振动板位移量之静电致动器。再者，本发明亦提供一种包含该静电致动器之液滴喷出头、液滴喷出头之驱动方法及静电致动器之制造方法。该静电致动器包含：振动板4；个别电极11，其系隔着间隙10与振动板4相对向，且在其与振动板4之间施加电压者；及绝缘膜4a，其系形成于振动板4之与个别电极11相对向之面上；绝缘膜4a系予以驻极体化而成者。