| 摘要 |
本发明的一实施例提供一种在布局中决定放置辅助特征之位置的系统。在操作期间内，该系统接收一积体电路的布局。接着，该系统在该布局中选择一个估算点。随后该系统在该布局中选择一个候选位置，以放置一辅助特征。接着，该系统在该布局中决定最后位置，以放置一辅助特征，其系藉由反覆地(a)选择微扰位置以放置代表性辅助特征于该候选位置附近、(b)使用一影像强度模型、该布局并且藉由放置代表性辅助特征于该候选位置与该些微扰位置来计算空中影像、(c)依据该些空中影像计算在该估算点的影像梯度量值、以及(d)依据该些影像梯度量值来更新该辅助特征的候选位置。 |
