| 摘要 |
本发明之检查装置包括：照明光学系统，其将照射光照射至被检查体；被检查体搭载台，其使上述被检查体沿与上述照射光照射方向交叉之第1方向移动；存储式感测器，其将上述被检查体之透过图像或者反射图像转换为电信号；感测器驱动部，其使上述存储式感测器于与上述照射方向以及上述第1方向交叉之第2方向移动；变动量检测部，其检测上述被检查体搭载台之上述第2方向变动量；控制部，其基于由该变动量检测部检测出之第2方向变动量而控制上述感测器驱动部向第2方向之驱动量；参照资料生成部，其生成上述被检查体之参照资料；及资料比较部，其将上述被检查体之透过图像资料或者反射图像资料与上述参照资料加以比较，检测上述被检查体之缺陷。 |
