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发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE CAPABLE OF FORMING FINE PATTERN
摘要
申请公布号 KR100695417(B1) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 KR20030094506 申请日期 2003.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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