| 发明名称 |
VERFAHREN UND GERÄT ZUR STEUERUNG DER BEHANDLUNGSGLEICHMÄSSIGKEIT VON WAFERN MITTELS RÄUMLICH AUFGELÖSTER SENSOREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60033166(D1) |
申请公布日期 |
2007.03.15 |
| 申请号 |
DE20006033166 |
申请日期 |
2000.04.18 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
TOPRAC, J.;MILLER, L. |
| 分类号 |
G01B11/06;H01J37/32;C23C16/52;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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