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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON STRUKTUREN AUF NANOMASSSTAB IN LICHTAUSHÄRTBAREN ZUSAMMENSETZUNGEN MIT EINEM ELEKTRISCHEN FELD
摘要
申请公布号 AT356374(T) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 AT20020808354T 申请日期 2002.05.16
申请人 BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM 发明人 WILLSON, C., GRANT;SREENIVASAN, S.V.;BONNECAZE, ROGER, T.
分类号 G03F7/26;G03F7/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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