光刻胶液供给装置及用于得到它的改造套件

摘要

提供一种既可以使光刻胶液输送成本降低，又可以避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的昂贵的小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本的光刻胶液供给装置。在光刻胶液供给装置中，测定调合罐内液体的浓度和粘度中的至少一种，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间而使其稳定化。

主权项

1.一种光刻胶液供给装置，用于通过向高浓度的原料液中加入溶剂而稀释至预期浓度，从而得到规定浓度的产品用光刻胶液，并供给该产品用光刻胶液，所述光刻胶液供给装置具有下述部分：导入所述高浓度原料液的导入部；混合搅拌导入至该导入部的所述原料液和所述溶剂的混合搅拌部；供给在该混合搅拌部中混合搅拌并调节浓度而得到的产品用光刻胶液的供给部；在所述混合搅拌部中，设置了贮存所述原料液和所述溶剂的混合液并混合搅拌的调合罐，该调合罐具有注入所述原料液和所述溶剂的注入部；取出一部分在所述调合罐中贮存的液体，将其返回到调合罐的部分液体循环移送部；所述部分液体循环移送部具有检测器和流量调节器，所述检测器为测定取出的液体中光刻胶成分的浓度的浓度检测器和测定取出的液体中光刻胶成分的粘度的粘度检测器中的至少一种，所述流量调节器基于所述浓度检测器和粘度检测器中的至少一种检测器的测定值，调整所述注入部的所述原料液和所述溶剂的注入量；所述供给部具有接收由所述流量调节器稀释控制为预期浓度的所述调合罐内的产品用光刻胶液，并将其贮存一定时间的产品用光刻胶液缓冲槽。