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发明名称
ULTRASENSITIVE PHOTODETECTOR WITH INTEGRATED PINHOLE FOR CONFOCAL MICROSCOPES AND METHOD TO DETECT OPTICAL SIGNAL
摘要
申请公布号
EP1273047(B1)
申请公布日期
2007.03.14
申请号
EP20010927893
申请日期
2001.04.09
申请人
CARL ZEISS JENA GMBH;POLITECNICO DI MILANO
发明人
COVA, SERGIO;ZAPPA, FRANCO;GHIONI, MASSIMO;GRUB, ROBERT;DERNDINGER, EBERHARD;HARTMANN, THOMAS
分类号
H01L31/02;G02B21/00;H01L27/146;H01L31/107
主分类号
H01L31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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