| 发明名称 | 绝缘衬垫调整器及其使用方法 | ||
| 摘要 | 一种采用调整工具(14)的晶片平面化工艺。该调整工具(14)具有电绝缘体，该电绝缘体电绝缘调整工具(14)的研磨面。电绝缘体通过降低电化学导致腐蚀的程度来延长调整工具(14)的研磨面的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN1929955A | 申请公布日期 | 2007.03.14 |
| 申请号 | CN200580007756.8 | 申请日期 | 2005.01.25 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 加里·M·帕尔姆格伦;布赖恩·D·格斯;道格拉斯·J·皮谢尔 |
| 分类号 | B24B53/007(2006.01);B24B37/04(2006.01) | 主分类号 | B24B53/007(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 黄启行;穆德骏 |
| 主权项 | 1.一种晶片平面化系统，包括：具有第一电极和第二电极的电源；与所述第一电极连接的抛光垫载体；与所述第二电极连接的工件载体；调整工具，包括适于调整所述抛光垫的研磨面；以及电绝缘体，配置为绝缘所述研磨面和所述第一电极和所述第二电极中的至少一个。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||