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发明名称 APPARATUS AND METHODS FOR SLURRY CLEANING OF ETCH CHAMBERS
摘要
申请公布号 IL178946(D0) 申请公布日期 2007.03.08
申请号 IL20060178946 申请日期 2006.10.31
申请人 THE BOC GROUP,INC. 发明人
分类号 B08B 主分类号 B08B
代理机构 代理人
主权项
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