发明名称 metal film deposition method for advancing step coverage
摘要
申请公布号 KR100689854(B1) 申请公布日期 2007.03.08
申请号 KR20000050646 申请日期 2000.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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