METHOD AND DEVICE FOR DETERMINATION OF FRINGING INTENSITY OF A LASER BEAM
摘要
<p>Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Erfassen der Randfeldintensität eines Laserstrahls (3) wird ein Lochspiegel (4) mit einer koaxial zum Laserstrahl (3) ausgerichteten runden Lochöffnung in Strahlrichtung (z) des Laserstrahls (3) verfahren und die Intensität des am Lochspiegel (3) reflektierten Laserlichts (6) direkt oder indirekt gemessen. Die zugehörige Vorrichtung (1) umfasst neben dem in Strahlrichtung (z) linear verfahrbaren Lochspiegel (4) eine Messeinheit (5) zum direkten oder indirekten Erfassen der Intensität des am Lochspiegel (4) reflektierten Laserlichts (6).</p>
