发明名称 Verfahren zum Schutz einer Umverdrahtung auf Wafern/Chips
摘要 <p>Protecting the wiring on wafers/chips comprises covering the wafer (1) with the wiring on its whole surface with an organic layer (12) to protect the wiring from corrosion and oxidation and form a sealed coating of the metal surface of the wiring.</p>
申请公布号 DE10318078(B4) 申请公布日期 2007.03.08
申请号 DE2003118078 申请日期 2003.04.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BRINTZINGER, AXEL;TROVARELLI, OCTAVIO
分类号 H01L23/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/485 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
地址