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发明名称 Baffle of etching apparatus used to manufacture a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100689810(B1) 申请公布日期 2007.03.08
申请号 KR20010019330 申请日期 2001.04.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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