发明名称 | 硅的生产方法 | ||
摘要 | 本发明涉及通过热分解包含甲硅烷、一氯硅烷和,如果需要的话,其他氯代硅烷,如二氯硅烷的气体混合物生产硅的方法。 | ||
申请公布号 | CN1926061A | 申请公布日期 | 2007.03.07 |
申请号 | CN200580006362.0 | 申请日期 | 2005.01.06 |
申请人 | 德古萨公司 | 发明人 | T·佩普肯;R·宗南沙因 |
分类号 | C01B33/029(2006.01);C01B33/03(2006.01);C01B33/027(2006.01) | 主分类号 | C01B33/029(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 吕彩霞;李连涛 |
主权项 | 1.一种通过热分解气相含硅烷的混合物并沉积块状硅生产高纯硅的方法,其中使用的气体混合物包含甲硅烷、一氯硅烷和,如果需要的话,其他硅烷。 | ||
地址 | 德国杜塞尔多夫 |