用于激光诱导热成像的膜供体装置

摘要

本发明公开了一种用于激光诱导热成像(LITI)设备的膜供体装置和利用其制造电子装置的方法。LITI设备包括腔室、基底支撑件、接触框架以及激光源或者振荡器。LITI设备将可转移层从膜供体装置转移到半成电子装置的表面上。LITI设备使用磁力提供可转移层和半成品装置的表面之间的紧密接触。在实施例中，磁性材料形成在LITI系统的隔开的两个部件中，可转移层和在其上可转移层被转移的表面介于上述两个部件之间，即，一个部件位于可转移层之上，另一部件位于所述表面之下。磁体或者磁性材料形成在LITI设备的下面两个部件中：半成品装置和膜供体装置；半成品装置和接触框架；基底支撑件和膜供体装置或者基底支撑件和接触框架。

主权项

1、一种用于激光诱导热成像的膜供体装置，所述装置包括：基底；可转移膜层，被构造成当足够量的热施加到其上时，其一部分被转移，所述可转移膜层包括有机材料；磁性层，包括磁体，其中，所述磁性层介于所述基底和所述可转移膜层之间，或者所述基底介于所述磁性层和所述可转移膜层之间。