发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种半导体器件,该半导体器件能够抑制因噪声引起的信号品质的劣化,并且能够减少因闩锁引起的电路误操作,能够确保良好的隔离度。该半导体器件包括:第1层,在半导体衬底内形成,电阻率比10Ωcm大、且比1kΩcm小;第2层,在半导体衬底内的表面侧且位于第1层上方形成;2个半导体元件或半导体电路,在第2层内或第2层之上形成;以及沟槽型绝缘区域,位于2个半导体元件之间,形成在半导体衬底内且从半导体衬底的表面到达上述第1层,将2个半导体元件或半导体电路电分离。 |
申请公布号 |
CN1925157A |
申请公布日期 |
2007.03.07 |
申请号 |
CN200610121913.4 |
申请日期 |
2006.08.28 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
山中未来;平冈幸生;石川修 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L21/822(2006.01);H01L21/762(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
陈英俊 |
主权项 |
1、一种半导体器件,其特征在于,包括:第1层,在半导体衬底内形成,电阻率比10Ωcm大、且比1kΩcm小;第2层,在上述半导体衬底内的表面侧且位于上述第1层上方形成;2个半导体元件或半导体电路,在上述第2层内或上述第2层之上形成;以及分离区域,位于上述2个半导体元件或半导体电路之间,形成在上述半导体衬底内、且从上述半导体衬底的表面到达上述第1层,将上述2个半导体元件或半导体电路电分离。 |
地址 |
日本大阪府 |