Lithographic apparatus with a position detection system
摘要
申请公布号
EP1111472(B1)
申请公布日期
2007.03.07
申请号
EP20000311469
申请日期
2000.12.20
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
CASTENMILLER, THOMAS JOSEPHUS MARIA;ARIENS, ANDREAS BERNARDUS GERARDUS;HOEKS, MARTINUS HENDRICUS HENDRICUS;VOGELSANG, PATRICK DAVID;LOOPSTRA, ERIK ROELOF;KWAN, YIM BUN PATRICK
