| 发明名称 |
Composition comprising amino-imine compounds |
| 摘要 |
The composition relates to amino-imine compounds used in the formation of 1,3-diimine copper complexes for deposition of copper films.
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| 申请公布号 |
US7186835(B2) |
申请公布日期 |
2007.03.06 |
| 申请号 |
US20040017147 |
申请日期 |
2004.12.20 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C07C249/02;C07D213/00;C07C251/12;C07C251/16;C07D213/74;C07F1/08;C23C16/18;H01L21/285 |
主分类号 |
C07C249/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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