夹紧装置及用于输送基板之输送机构

摘要

一种夹紧装置，包括固定在垂直方向的夹爪(15)；沿垂直方向可移动的夹爪(16)；以及用于向可移动夹爪(16)施加力的力转换器。可移动夹爪(16)是弯曲的。力转换器优选地包括线圈(21)和铁芯(22)。在夹紧装置的未夹紧状态，可移动夹爪(16)承受铁芯(22)的重量。为了夹紧，电流施加于线圈(21)，产生磁场，将铁芯(22)压靠于可移动夹爪(16)。

主权项

1.一种夹紧装置,包括: 一夹爪(15),相对于夹紧方向(z)固定; 一可移动夹爪(16),沿夹紧方向(z)可移动,该可移动 夹爪(16)被弯曲使得其与该固定夹爪(15)形成锥形 入口;以及 一力转换器,用于向该可移动夹爪(16)施加力, 其中在该夹紧装置的未夹紧状态,该力转换器在该 可移动夹爪(16)上施加一第一力,并且将该可移动 夹爪(16)压靠于该固定夹爪(15)或者压靠于将被夹 紧的一物体,并且其中在夹紧状态,该力转换器在 该可移动夹爪(16)上施加大于第一力的第二力。 2.如申请专利范围第1项之夹紧装置,其中该力转换 器由一线圈(21)和一铁芯(22)所构成,并且其中在夹 紧装置的未夹紧状态,该可移动夹爪(16)承受该铁 芯(22)的重量。 3.一种用于沿输送方向(2)输送基板(1)的输送机构, 包括刚性的如申请专利范围第1或2项所述之夹紧 装置,以及一可以沿输送方向(2)前后移动的夹紧装 置。 图式简单说明: 第1图、第2图示出输送机构的平面图和横截面图, 第3图示出根据本发明的夹紧装置的第一实施例, 以及 第4图示出处于夹紧状态的夹紧装置。