| 摘要 |
一种微小型流体轴承监别(identification)系统及方法，其藉由一空气轴承连结一驱动马达之转轴与另一转轴，藉此缩小其等所形成之主轴在转动时所产生之径向偏摆(radial runout)距离；并藉由一悬置机构(suspension)支撑一微小型流体轴承及上述之另一转轴，且提供一相对较低(softer)之径向刚性(radial stiffness)，藉此减少此微小型流体轴承在上述之主轴转动时所产生之径向振动(radial vibration)；并藉由一感测模组感测此微小型流体轴承在上述之主轴转动时之变化并输出其相关之感测资料，藉此提供给一电脑模组处理以计算此微小型流体轴承之动态系数(dynamic coefficient)以及监别此微小型流体轴承。 |
