生产管理及成品率分析整合的实时管理系统及其处理方法

摘要

一种生产管理及成品率分析整合的实时管理系统及其处理方法。加总并平均多个成品率值以求得一历史成品率值。选取多个代表性在线品管特征参数(Inline QC parameter)并执行一统计运算以执行下述判断操作。若所述在线品管特征参数中没有极端值与共线性的参数存在，以及所述在线品管特征参数的残差分析结果符合常态分布，则自在线品管特征参数中选取多个最佳化的特征参数。计算出所述最佳化特征参数的每一特征参数的权重值，并且根据该历史成品率值、所述权重值以及有关所述在制品的多量测值与多目标值，计算出一预测成品率。

主权项

1.一种生产管理及成品率分析整合的实时管理方法，包括下列步骤：收集一既定时间内有关晶片在制品的多个成品率值与在线品管特征参数；加总并平均该成品率值以求得一历史成品率值；选取多个代表性在线品管特征参数；执行一统计运算以执行下述操作，包括下列步骤：判断所述在线品管特征参数中是否有极端值存在；若没有极端值存在，则判断所述在线品管特征参数中是否有共线性的参数存在；以及若没有共线性的参数存在，则判断所述在线品管特征参数的残差分析结果是否符合常态分布；若残差分析结果符合常态分布，则自在线品管特征参数中选取多个最佳化的特征参数；计算出所述最佳化特征参数的每一特征参数的权重值；以及根据该历史成品率值、所述权重值以及有关所述在制品的多量测值与多目标值，计算出一预测成品率。