发明名称 半导体制造用加热器
摘要 1.本外观设计的主体是石英材料,且为透明的。2.后视图与主视图对称,省略后视图。
申请公布号 CN3616317D 申请公布日期 2007.02.28
申请号 CN200630014628.3 申请日期 2006.04.26
申请人 东京毅力科创株式会社;东芝陶瓷股份有限公司 发明人 稻富康博;山贺健一;本间浩幸
分类号 23-03 主分类号 23-03
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙 淳
主权项
地址 日本东京