确定成像系统中的图像模糊

摘要

本发明涉及确定关于成像系统(IS)中图像模糊的参数的方法，包括步骤：采用成像系统(IS)照射具有测试图案(MTP)的物体，从而形成测试图案的图像。测试图案(MTP)具有小于成像系统(IS)的分辨率的尺寸，这使得测试图案的图像独立于照明装置像差。测试图案(MTP)是孤立图案，这使得图像不受光学临近效应影响。图像由于成像系统和/或者检测被模糊图像的检测器中的随机波动而被模糊。根据关于被模糊图像的形状的参数，确定关于图像模糊的参数。根据本发明，可以表示抗蚀剂扩散和/或者聚焦噪声的特性。在设计掩模的方法中，要考虑与由于抗蚀剂中的扩散导致的图像模糊有关的参数。根据本发明的计算机程序能够执行从关于被模糊图像的形状的参数中确定关于图像模糊的参数的步骤。

主权项

1、确定关于成像系统(IS)中图像模糊的参数的方法，所述方法包括以下步骤：采用所述成像系统(IS)照射具有测试图案(MTP)的物体，从而形成所述测试图案的图像，所述测试图案(MTP)具有小于所述成像系统(IS)的分辨率的尺寸，所述测试图案(MTP)是孤立测试图案，所述图像被模糊，检测所述被模糊图像，以及根据关于所述被模糊图像的形状的参数，确定关于图像模糊的参数。