| 发明名称 | 制作微型流道的方法 | ||
| 摘要 | 一种制作微型流道的方法，其步骤是，首先是在一金属基板上形成一槽道；而后固设一涵盖该槽道的金属盖板于该金属基板上，以界定出一微型流道。本发明提供一种制作微型流道的方法，可以低成本大批量进行微型结构的制作。 | ||
| 申请公布号 | CN1301897C | 申请公布日期 | 2007.02.28 |
| 申请号 | CN200410030027.1 | 申请日期 | 2004.03.17 |
| 申请人 | 升达科技股份有限公司 | 发明人 | 陈佩佩;林招庆 |
| 分类号 | B81B1/00(2006.01);H05K7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | B81B1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李树明 |
| 主权项 | 1.一种制作微型流道的方法，其特征在于：该方法包含下列步骤：(a)以微影蚀刻方式于一金属基板上形成一槽道；及(b)焊接一涵盖该槽道的金属盖板于该金属基板上，以界定出一微型流道。 | ||
| 地址 | 台湾省台北县 | ||