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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SILICON WAFER
摘要
申请公布号 EP1513193(A4) 申请公布日期 2007.02.28
申请号 EP20030780972 申请日期 2003.12.19
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 UMENO, SHIGERU;HOURAI, M.;SANO, MASAKAZU;MIKI, S.
分类号 H01L21/322;C30B29/06;C30B33/00;H01L21/26;H01L21/324;H01L21/762 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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